1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

结构决定物质性质，性质反映结构。

而多晶硅表面的结构形貌特征对太阳能光电子器件光电转换性能有着决定性意义。

故多晶硅光电子器件一般都要对其表面进行织构化处理，降低其表面反射率，使之获得更好的光电转换效能。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

随着光伏产业的发展，多晶硅太阳电池以其成本低等优点受到国内外研究人员的广泛关注，如何提高多晶硅太阳电池的转化效率一直是研究重点。

减少晶硅太阳电池表面反射率是提高电池转化效率有效方法之一。

相比较机械刻槽，反应离子刻蚀以及光刻技术制备多晶硅绒面，酸腐蚀方法工艺简单，制备成本低，成为工业制备多晶硅绒面的主要方法。