1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

1 引言

能源短缺和环境污染已成为影响经济社会发展的重要因素,能否获得无污染的能源成为当今社会关注的焦点之一。太阳能作为一种洁净的可再生能源得到了越来越多的重视，目前,许多国家正在制订中长期太阳能开发计划,准备在21世纪大规模开发太阳能。太阳能电池将太阳能直接转化为电能,是有效利用太阳能的最佳途径之一，多晶硅太阳能电池在太阳能的应用上面又是占据了重要地位。在多晶硅太阳能电池制备工艺过程中，有一个步骤称之为脱银[1]，这是为了将硅片表面反应产生的银纳米颗粒除去，达到清洗除杂质的目的，最终减小电池效率的损失。目前常规的方法是采用氨水混合双氧水来脱银，但是此方法不利于环境保护，存在污染，多晶硅太阳能电池的成本比较低，其市场占有率已逐步上升，但其采用氨水混合双氧水来脱银对环境的污染非常严重[2]，不利于保护环境，所以我们要引入新的方式来完成脱银，探索臭氧脱银的效果

2 黑硅

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

问题：臭氧氧化法去除硅表面银纳米颗粒的研究

研究手段： 1.硅片从镀银到造孔，再到脱银的流程

硅片:多晶，电阻率为1-3Ω#183;cm，厚度为200士20m，尺寸20mmx20mm。