介观太阳能电池作为太阳能电池的一种，由于价格低廉、制作简单、具有较高的光电转换效率等优点，受到广大科研工作者的青睐3。

随着太阳能电池的发展,基于透明导电材料电极的太阳能电池、透明电池以及串联电池都对电极材料提出了新的要求1。

其要求电极在在具有良好导电性的基础上，还要具有良好的可见光透过率2、6。

透明导电薄膜是把光学透明性能与导电性能复合在一体的光电材料。

透明导电薄膜既有高导电性,又在可见光范围内有很高的透光性,且在红外光范围内有很高的反射性。

这种光电薄膜材料打破了人们的传统观念,即在自然界中,透明的物质通常是不导电的,如玻璃、水晶等;而导电的或者导电好的物质又往往是不透明的,如金属、石墨等4。

透明导电薄膜正是因为透明与导电性能相结合,成为功能材料中具有特色的一类薄膜,在光电产业有着广阔的应用前景。

无机物类透明导电薄膜大体可分为金属膜、氧化物膜以及其他化合物膜,其中以氧化物膜占主导地位。

透明导电氧化物(Transparent Conductive Oxide ,简称TCO)薄膜主要包括In、Zn、Sn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料5、8。

目前氧化物透明导电材料体系包括ITO(Sn掺杂In2O3)、AZO(Al掺杂ZnO)、FTO(F掺杂SnO2)以及最近发展的IMO(Mo掺杂In2O3)等。