1.等离子体概述 1.1等离子体概念 等离子体，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。

1.2等离子体分类 根据气体离解程度不同，等离子体分为热等离子体和冷等离子体，前者一般由常压或者高压下电弧放电产生，用于无机合成和有机物裂解。

而冷等离子体最为普遍，多由射频或者微波电源激发低压强辉光放电产生，也可用直流或者交流电晕放电得到。

1.3等离子体应用 1.3.1等离子体表面处理 等离子体表面处理是指非聚合性气体的等离子体对聚合物膜表面的物理的或化学的作用过程。

非聚合性气体包括非反应性气体和反应性气体。

非反应性气体指He 、Ar 等惰性气体,以这类气体的等离子体处理时,惰性气体原子并不与聚合物链结合。

反应性气体指一些无机气体或易挥发的无机化合物,常用的有O2 、N2 、CO2 、H2O、NH3 、SO2等。

与非反应性的惰性气体不同,以反应性气体的等离子体处理时,气体原子可以结合到聚合物链上,在聚合物链上形成相关的官能团。

在等离子体的处理过程中,等离子体中的自由基、离子、电子等高能态粒子与材料的表面作用,通过刻蚀与沉积作用,使聚合物链发生断链、降解和交联等反应,在材料的表面产生极性基团。

同时还可在聚合物链上产生自由基等活性基团,接触空气,这些自由基可以与氧气反应,在膜表面形成过氧或氢过氧等极性基团,实现了膜表面的亲水化处理。