文 献 综 述 1.引言 1.1研究背景 MEMS(Mieor一Elecotr一MeehaniealSystems)是微机电系统的缩写,MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的信号处理电路等几部分,它是在融合多种微细加工技术,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。

改革开放30 年来，传感器的发展取得了长远的发展：MEMS研究项目已列入了国家高新技术发展重点；在”九五”国家重点科技攻关项目中，传感器技术研究取得了51个品种86个规格新产品的成绩，初步建立了敏感元件与传感器产业；2007年传感器业总产量达到20.93亿只，品种规格已有近6000种，并已在国民经济各部门和国防建设中得到一定的应用。

压力传感器在整个MEMS行业,无论是设计研究还是产业应用中都占主要地位，它是基于平面工艺和立体声处理相结合的一种技术，便于在技术中实现，且能够较快的投入到生产应用中去，压力传感器技术已经与其他技术结合，越来越多将压力传感器技术与其他技术结合起来，形成系统集成技术。

如其广泛的应用有血压计、水速计、压力计及自动报警装置等。

1.2压阻式压力传感器的发展趋势 压力传感器是传感器的一种。

它是最早开始研制的机械产品,也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。

其原理是将压力被测量转换成电信号，例如电压、电流输出的器件。

最典型的压力传感器就有压阻式压力传感器，工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于汽车、航空航天、生物医学及其他领域。

压阻式压力传感器作为应用最广的一类MEMS器件,具有尺寸小、响应快、结构简单、输出容易处理的电压信号等特点。

在此类器件中,弹性膜片和压敏电阻等敏感结构的设计对传感器性能有着非常重要的影响。