1. 前言 随着科学技术的不断发展和时代的变化，食品、电力、金属、发电、石油、水处理、医药医疗、精密元器件等领域[1]对于湿度控制提出了更高的要求，湿度不仅关系到工业产品的质量与产量，而且对于安全生产和节能灯角度都具有十分重要的意义，而若提到湿度的控制就一定离不开湿度检测技术。

湿度检测技术近一个世纪以来已经有了长足的发展，基于不同原理的许多新方法和仪器被应用到湿度检测中。

而近年来最受关注的便是各类湿度传感器。

湿度传感器相比传统的方法有着能够测量微量水分、灵敏度高、测量速度快、能够连续检测、精度高等优点。

2.湿度检测技术发展及研究现状 自1750年Richman发现湿球温度计温度低于干球温度计以来已经过了两个多世纪，干湿球测量法仍在湿度测量应用中占有重要的地位。

从十九世纪初，人们就开始对湿球理论进行深入的研究，Apjohn和August基于对流理论建立了干湿球方程；十九世纪后半期Maxwell根据扩散理论导出了完全相同的结果。

他们的研究成为了湿球理论的基础。

而到了二十世纪三十年代，以Svensson和Arnold为代表的学者，在前人研究的基础上，利用传热、传质方面的新成就建立了比较完整的湿球理论[2]。

精密的阿斯曼通风干事表长期以来都是检定其他湿度计的二等标准。

A.V. Khomenko[3]等利用两台用扭曲双折射光纤作为温敏材料的Sagnac干涉仪分别对干球和湿球进行温度检测，由此制得了检测温度和相对湿度误差分别不超过0.01℃和4%干湿球湿度计。