1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述

一、简介

等离子体是物理学科研究中的一个分支，目前等离子体技术已被广泛地用于国防、工业、农业、环境、通信等一系列国民经济发展领域，例如：微电子电路等离子体镀膜、刻蚀、沉积、等加工过程，极大地推动了信息产业的发展，促进了工业科技进步，它应用的范围广，种类繁多，大到宇宙航天、国防军事工程、核聚变反应堆，小到纳米材料、信息工业的超大规模集成电路中0.0001㎜集成块的生产，均离不开等离子体技术。特别是进入21世纪，随着科技进步和社会生产力发展，人类的生活质量不断提高，随之而来的人口与寿命增长，全球资源日趋枯竭，生态破坏和环境污染，已成为全球面临的严峻问题，全世界对此已高度重视，人类不得不反思以往行为，重新审视当今社会的经济发展模式，再不能以破坏地球生存环境为代价来换取经济的高速发展，而要最大限度地减少资源浪费，利用浩瀚的宇宙存在的自然条件，向海洋、太空索取能源和资源，其中等离子体#8212;#8212;自然界中物质存在的第四态就是21世纪需大力开发的新技术之一^[1]。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

本课题研究的主要问题：

主要研究等离子体处理技术及应用，对等离子体的清洁技术、电弧技术、表面处理技术镀膜、刻蚀等技术在纺织印染、包装印刷工业、处理工业废气、工业废水等方面的作用机理和实施方法具体分析和讨论，并且分析其特点和不足，并结合传统的处理方法进行讨论，同时结合等离子体的原理探讨其发展前景。

拟采用以下的研究方法：