1. 毕业设计（论文）主要内容：

氮化硅是一种重要的结构陶瓷材料。它是一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损，耐腐蚀，高温时抗氧化。而且它还能抵抗冷热冲击，在空气中加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂，同时也具有较高的热传导效率，绝缘性能良好。通过流延工艺，制备出一定厚度的素坯，采用合适的烧结工艺，制备出性能优良的陶瓷基板，对于当前半导体产业，面临着集成度不断提高，器件功率变大，散热不足的瓶颈，具有重要的现实意义。

设计（论文）主要内容:

1．文献调研，了解国内外相关研究概况和发展趋势；

2. 毕业设计（论文）主要任务及要求

1.查阅不少于15篇的参考文献（其中近5年英文文献不少于3篇），完成开题报告；

2.掌握流延成型的工艺流程；

3.掌握si3n4陶瓷基板结构与性能的表征方法；

3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排

第1－3周：查阅相关文献资料，完成英文翻译。明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案，并完成开题报告。

第4－7周：按照设计方案，进行流延工艺相关实验，制备出符合性能要求的流延坯体，进行烧结。

第8－11周：采用xrd、fesem、显微硬度、力学试验等测试技术对si3n4陶瓷基片的物相、显微结构、电化学性能进行测试。

4. 主要参考文献

[1] mistler re, twiname e r. tape casting: theory and practice[j]. 2010.

[2] pengh. spark plasma sintering of si3n4-based ceramics : sinterinmechanism-tailoring microstructure-evaluationg properties[m]. 2004.

[3] roncarie, pinasco p, nagliati m, et al. tape casting of aln–sic–mosi2 composites[j].journal of the european ceramic society, 2004, 24(8):2303-2311.