等离子体化学是20世纪60年代发展起来的一门新兴交叉科学。人们早就知道气体的放电会引发某些特殊的化学反应, 但长期来并未认真探索其广泛的意义和反映事物本质的规律^[1]。由于发展高新技术的迫切需要, 才引起对等离子态的关注。直到1967年才出现”等离子体化学”这一术语^[2]。经过40多年的研究发展, 已经广泛地运用于化工、冶金、机械、纺织、电子、能源、半导体、医药、环境等领域^[3]。