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1. 1. 毕业设计（论文）的内容、要求、设计方案、规划等

1、前言：碳氮基薄膜由于具有较高的硬度和耐磨性，常被应用在刀具涂层上。表面涂覆高硬、耐磨的薄层，可以有效解决刀具材料的硬度、耐磨性和抗弯强度、冲击韧性之间的矛盾。常用的涂层材料有碳化物、氮化物、碳氮化物、氧化物、硼化物、硅化物、金刚石及复合涂层八大类数十个品种。近年来，涂层技术在此基础上得到了发展，其中，碳、氮基涂层制取简单，应用较为广泛，而PVD 技术有着绿色无环境污染、较低的沉积温度（一般在600℃以下）、对刀具基体抗弯强度影响小等诸多优点，同时PVD在控制涂层材料的组元成份和结构方面具有很大优势。本文通过改变SiC靶的功率制备了不同元素含量的TiSiCN薄膜；同时制备了常用的刀具材料CrTiN, CrAlN和TiAlN薄膜。研究了四种薄膜的结构及在干摩擦和切削液中的摩擦磨损性能，揭示了元素含量对薄膜的力学性能和摩擦特性的影响。

2、方案及内容：（1）确定碳氮基薄膜的制备工艺：通过阅读文献资料和实验室所具备的实验条件，确定薄膜制备工艺，即采用磁控溅射的方法制备碳氮基薄膜，制备过程中通过改变SiC靶的功率制备不同元素含量的，TiSiCN薄膜；同时制备常用的刀具材料CrTiN, CrAlN和TiAlN薄膜，时间3~4周。（2）四种薄膜的制备：样片准备，购买靶材，薄膜制备，时间3~4周。（3）四种薄膜的结构及力学性能的表征，时间2~3周。（4）四种薄膜的摩擦磨损性能的研究，时间2~3周：（5）实验数据的整理分析，论文的撰写，分析元素含量变化对薄膜结构及力学性能的影响，研究在不同润滑条件下与不锈钢球对磨的摩擦磨损性能，揭示其磨损机理，时间3~4周。

2. 参考文献（不低于12篇）

[1] konstantinos dionysios bouzakis, nikolaos michailidis, georgios skordaris, et al. cutting with coated tools: coating technologies, characterization methods and performance optimization[j]. cirp annals - manufacturing technology, 2012, (61): 703-723 .

[2] 康勃, 马瑞新, 吴中亮, 等. 现代刀具涂层制备技术的研究现状[j]. 表面技术, 2008, 37(2): 71-74.

[3] 张勤俭, 赵路明, 刘敏之, 等. 刀具涂层技术的研究现状和发展趋势[j]. 有色金属科学与工程, 2014, 5(2): 20-25.