1. 研究目的与意义（文献综述）

1.目的及意义（含国内外的研究现状分析）

电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测物理量或机械量转换成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。随着微机电系统（mems）研究及应用的兴起，微型传感器的重要性日益突出，微型电容式传感器由于其优良特性，受到青睐，国内外很多机构从事相关研究。

1.1国内外现状分析

2. 研究的基本内容与方案

2.研究（设计）的基本内容、目标、拟采用的技术方案及措施

2.1研究（设计）的基本内容：

本课题的目的是在现有研究技术的基础上，设计并改进微弱电容读取方法，设计新型纳牛级别的电容式力学传感器。

3. 研究计划与安排

3.进度安排

第1-3周 查阅收集有关课题资料，并做好笔记、周记，完成外文翻译。

第2-3周 总结材料内容，完成开题报告。

4. 参考文献（12篇以上）

[1] 杨敏.基于硅纳米巨压阻结构的微型压力传感器研究[d].江苏：南京信息工程大学，2016

[2] sumit kumar jindal ankush mahajan sanjeev kumar raghuwanshi.a complete analytical model for clamped edge circular diaphragm non#8209;touch and touch mode capacitive pressure sensor[j].microsyst technol (2016) 22:1143–1150

[3] jon s. wilson.传感器技术手册[m].林龙信等译.人民邮电出版社，2009.2