文 献 综 述 一.课题研究背景及意义 等离子体是固体、液体、气体三态以外的物质第四态，主要由电子、离子、原子、分子、活性自由基等组成，占宇宙空间可见物质总量的99%，但是在大气压、低温的等离子体在自然界极少存在。

根据热力学平衡状态，等离子体可以分为热力学平衡状态的高温等离子体、局部热力学平衡状态的热等离子体、非热力学平衡状态的低温等离子体。

高温等离子体中的电子温度、离子温度及气体温度完全一致，热等离子体仅在局部范围的电子温度、离子温度和气体温度达到平衡状态，低温等离子体中的电子温度较高达几千开尔文，而离子温度及气体温度则接近室温。

近年来，人们利用气体放电产生了多种形式的大气压低温等离子，主要包括电晕放电、电弧放电、介质阻挡放电等。

大气压低温等离子射流是近年来发展起来的一种新型放电技术[1-4]，与其他形式的等离子体产生方式相比，等离子体射流具有放电温度低，装置灵活，能实现放电区域与工作区域分离等方面的特点，因此等离子体射流在材料表面改性[5]、肌肤修复[6]、杀菌消毒[7-8]等方面具有广阔的应用前景，其放电特性和机理研究也受到了国内外的广泛关注[9-11]。

然而国内外大多研究中采用的射流装置产生的等离子体作用面积较小，其处理面积一般不超过几平方毫米，小面积的缺点限制了其工业应用前景。

为了得到更适合实际应用的较大面积的射流源，近年来，研究者们以多个射流单元为基本通过排列组合对等离子体射流装置进行了扩展，获得了较大作用面积的等离子体射流阵列[12]。

射流阵列可以适应不同尺寸形态的处理对象，大大加强了了处理的灵活性和实用性，因此具有更好的应用前景，目前成为研究热点之一。

从驱动电源方面，大气压等离子体射流阵列的产生主要包括高频交流电源驱动的等离子体射流、纳秒脉冲电源驱动的等离子体射流和微秒脉冲电源驱动的等离子体射流。

1.1高频交流电源驱动的等离子体射流 高频交流电源驱动的等离子体射流发展较早，因其易于实现，成本较低得到了一定的推广，特别是在驱动射流阵列时，高频交流电源表现出了较好的同步性，得到了研究者们广泛的关注。