文 献 综 述 随着制造业的不断发展，位移传感器在航天航空、机械、建筑、纺织、铁路、煤炭、冶金、塑料、化工以及科研院校等国民经济各行各业各领域扮演着越来越重要的角色，它们主要用在精密加工中零部件的尺寸、测量伸长、振动、物体厚度以及表面形貌测量、精密运动的位移测量等，位移传感器的测量精度体现了一个国家精密制造业的水平和能力。

由于精密加工技术和生物技术的特征尺寸不断减小，逐步进入亚微米、甚至纳米级精度，这就对位移传感器提出了更高的要求。

随着纳米科技的出现，对高精度位移传感器的需求越来越多，纳米级传感器应运而生，这类传感器有着纳米甚至亚纳米的分辨力，测量不确定度达到几纳米。

电感型微位移传感器是测量线位移时常用的微位移传感器，其利用电磁感应原理将被测非电量如位移转换成线圈自感量L或互感量M的变化，再由测量电路转换为电压或电流的变化量输出。

电感式传感器具有结构简单、工作可靠、测量精度高、零点稳定、输出功率较大等一系列优点，其主要缺点是灵敏度、线性度和测量范围相互制约，传感器自身频率响应低，不适用于快速动态测量。

电感式传感器种类很多，常见的有自感式传感器，互感式传感器和电涡流式传感器三种。

LVDT（Linear Variable Differential Transformer）是线性可变差动变压器缩写，属于直线位移传感器。

LVDT8笔式位移传感器具有优良的性能 ,适用于计量应用中的高精度、高重复性的测量。

测头采用高硬度的耐磨材料氮化硅陶瓷，测轴移动部分采用精密导轨，笔形位移传感器外配变送器可输出标准的直流信号。

外配变送器采用12-24V DC供电，电子电路密封在304不锈钢金属管内，可以在潮湿和灰尘等恶劣环境中工作，输出信号为标准的可被计算机或PLC使用的0-5V、0-10V、4-20mA、RS485输出。