1. 毕业设计（论文）主要内容：

微机电系统中的微型加速度传感器在目前智能终端中广泛应用。

本项目研究根据微型加速度传感器的原理对其进行设计，并利用微机电系统的工艺方法进行工艺分析。

2. 毕业设计（论文）主要任务及要求

2.理解微型加速度传感器的工作原理

3.根据要求设计出微型加速度传感器结构，并进行微加工工艺路线规划。

3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排

第1周~第3周：寻找关于微型加速度传感器的资料，进行前期资料搜集整理，并进行初步设计。

第4周~第5周：学习并掌握cad软件进行绘图，学习并掌握微机电系统的原理及其计算。

第6周~第12周：设计微型加速度传感器，明确其微加工工艺。

4. 主要参考文献

1.陈竟成,许高斌,马渊明,陈兴.对称分布的三轴谐振陀螺仪的设计、分析与仿真[J].传感技术学报,2016,第第29卷卷,第9期

2.殷勇,王寿荣,王存超,杨波,盛平,田忠.一种双质量硅微陀螺仪[J].中国惯性技术学报,2008,第16卷,第6期

3.成宇翔,张卫平,陈文元,崔峰,刘武,吴校生.MEMS微陀螺仪研究进展[J].微纳电子技术,2011,第48卷,第5期

4.赵幸娟,王瑞荣,石云波,刘俊,唐军.电容式硅微机械陀螺仪结构设计及仿真[J].功能材料与器件学报,2011,第17卷,第3期