1. 毕业设计（论文）的内容和要求

硅微陀螺仪的功能是测量转动角速度,它具有体积小、成本低、可靠性高、重量轻等特点,在军民两用领域有着非常广泛的应用。

正交误差是限制硅微陀螺性能提高的主要因素,抑制正交误差的方法也一直在发展。

本课题要求学生分析硅微阵列陀螺仪正交误差产生的原因及其影响，了解正交耦合刚度校正法的工作原理，以及设计合适的校正电极，实现正交误差校正的校正结构设计。

2. 参考文献

[1]Andrianakis C, Seymer P, Stavrou A. Adaptive Control of a Vibratory Angle Measuring Gyroscope[J]. Sensors, 2010, 10(9):8478-90. [2]巫华芳. 基于三轴陀螺仪传感器的无线位置伺服算法应用[J]. 仪表技术与传感器, 2016，0(1):13-15. [3] Chengyu Jiang, Liang Xue, Honglong Chang. Signal processing of mems gyroscope arrays to improve accuracy using a 1st order markov for rate signal modeling[J]. Sensors. 2012,12(2),1720-1737 [4]张印强, 吉训生, 王寿荣. 硅微阵列陀螺仪的信号滤波技术[J].东南大学学报（自然科学版），2013,43（6）：1224-1226 [5]Alexander A Trusov ,Igor P Prikhodko,Sergei A Zotov, et al. Low-dissipation silicon tuning fork gyroscopes for rate and whole angle measurements[J]. IEEE Sensors Journal. 2011, 11(11):2763-2770 [6]Mohammadi Z, Salarieh H. Investigating the effects of quadrature error in parametrically and harmonically excited MEMS rate gyroscopes[J]. Measurement, 2016, 87（3）:152-175. [7]倪云舫, 李宏生, 杨波,等. 硅微陀螺正交误差直流校正设计与分析[J]. 中国惯性技术学报, 2014, 22(1):104-108. [8]曹慧亮, 李宏生, 申冲,等. 双质量硅微机械陀螺仪正交校正系统设计及测试[J]. 中国惯性技术学报, 2015, 23(4):544-549. [9]王晓雷, 杨成, 李宏生. 硅微陀螺仪正交误差校正系统的分析与设计[J]. 中国惯性技术学报, 2013,21(6):822-827. [10]Ghanbari A, Moghannibavilolyaei M R. Adaptive fuzzy terminal sliding-mode control of MEMS -axis gyroscope with extended Kalman filter observer[J]. Systems Science Control Engineering An Open Access Journal, 2014, 2(1):183-191. [11]Wang S, Fei J. Robust adaptive sliding mode control of MEMS gyroscope using T#8211;S fuzzy model[J]. Nonlinear Dynamics, 2014, 77(1):361-371. [12]杨波, 王寿荣, 黄丽斌. 硅微陀螺仪闭环校正控制系统设计[J]. 纳米技术与精密工程, 2010, 08(4):88-93. [13]王晓雷. 硅微陀螺仪闭环检测与正交校正技术研究与试验[D]. 东南大学, 2014. [14]曹慧亮. 硅微机械陀螺仪静电补偿与控制技术研究和实验[D]. 东南大学, 2014. [15]倪云舫, 李宏生, 黄丽斌,等. 硅微陀螺正交校正结构设计与试验[J]. 东南大学学报(自然科学版), 2013, 43(6):1227-1231.

3. 毕业设计（论文）进程安排

第18周~第19周：调研，查阅中英文资料15篇以上（关键词：硅微阵列陀螺仪;正交误差;静电-结构耦合;自适应模糊pid;正交耦合刚度校正）。

第20周：学习matlab/simulink设计软件，写开题报告，进行英文资料翻译，提交打印好的文献综述或调研报告及开题报告（围绕任务书，完成方案论证，工作思路等）。

第3周~第4周：阅读参考文献，了解硅微陀螺阵列的基本结构。