1. 研究目的与意义（文献综述）

研究目的及意义：

近年来，随着光纤通信技术的发展，光纤传感器因其体积小、重量轻、灵敏度高、分辨率高、保密性好、抗干扰性强等一系列优点，在军事、国防、航空航天、工业生产、医疗、测量等等领域有着不小的市场。到目前为止，光纤传感器已经有上百种，如温度、压力、液位等等，而光纤传感器依旧处于发展阶段，人们也在探索光纤传感器的新领域和新结构。光纤压力传感器作为光纤传感器中重要和常用的一类，以其电绝缘性良好且不受电磁干扰，所以比传统的压力传感器更适合用于复杂的环境中，其中以光纤fabry-perot(法布里-珀罗，简称法珀或者f-p)传感器技术应用最为成熟和广泛。

本次研究的主题是光纤fizeau腔压力传感器，而光纤fizeau腔可看做是光纤f-p腔的一种特殊结构形式，普通的光纤f-p腔入射光纤与反射光纤端面反射率相等且较低，反射信号微弱，而光纤fizeau腔的反射光纤端面通过镀膜提升了反射率，大大加强了反射信号，使干涉条纹更加清晰，提高测量的准确度。

2. 研究的基本内容与方案

研究内容及目标：

掌握采用标准单模通信光纤和62.5/125阶跃型多模光纤熔接、精密切割、hf酸腐蚀以及熔接机电弧抛光技术在光纤端头形成外径为125微米、内径为62.5微米，底部光学反射率理想的压力敏感sio₂杯，并将端头腐蚀有sio₂杯的空心光纤和105/125阶跃型特种多模光纤焊接，形成高对比度f-p腔。

掌握数值孔径为0.22,外径为140 micro;m的纯石英玻璃包层,内径为100micro;m的掺ge石英玻璃为纤芯的阶跃型特种多模光纤切割、腐蚀和标准单模通信光纤熔接，以及熔接机电弧抛光，外径为125micro;m全石英光纤f-p腔的制作方法；

3. 研究计划与安排

第1周—第4周 搜集资料，完成相关基础理论学习，撰写开题报告；

第5周—第6 周 论文开题；

第7周—第12周 动手做实验，摸索制作工艺并成功制作全石英光纤fizeau 腔；

4. 参考文献（12篇以上）

[1] matthew j.gander, william n.macpherson, et al. embedded micromachined fiber-optic fabry-perot pressure sensors in aerodynamics applications[j]. ieee sensors journal,vol.3,no.1,2003,pp102-107.
[2] stuart watson, matthew j.gander, et al. laser-machined fibers as fabry-perot pressure sensors[j], applied optics,vol.45,no.22,2006,pp5590-5596.
[3] edvard cibula, denis donlagic, miniature fiber-optic pressure sensor with a polymer diaphragm[j], applied optics,vol.44,no.14,2005,pp2736-2744.
[4] denis donlagic, edvard cibula, all fiber high sensitivity pressure sensor with a sio2 diaphragm[j], optics letter,vol.30,no.16,2005,pp2071-2073.
[5] edvard cibula, s.pevec, b.lenardic,e.pinet, denis donlagic, miniature all-glass robust pressure sensor, optics express,vol.17,no.7,pp5098-5106.
[6] 白韶红. 法布里-珀罗干涉仪的发展与应用[j]. 传感器世界，2001,7.
[7] 方卉. 光纤法布里-珀罗传感器及其复用研究[d]. 大连: 大连理工大学，2009.
[8] 于清旭,贾春艳. 膜片式微型f-p腔光纤压力传感器[j]. 光学精密工程，2009,(12):2887-2892.
[9] 韩冰,高超. 光纤f-p腔压力传感器的研究进展[j]. 计测技术，2012，(02):5-10.
[10] 张慧君,张立喆,段玉培,陈喜. 提高膜片式f-p腔光纤压力传感器灵敏度的试验研究[j]. 计测技术，2014，(03):25-27.
[11] 刘铁根，江俊峰. 分立式光纤传感技术与系统[m]. 北京:电子工业出版社，2012.
[12] 郁道银，谈恒英。工程光学[m].第二版. 北京:机械工业出版社，2008.
[13] jiali zhu, ming wang, et al. an optical fiber fabry-perot pressure sensor using corrugated diaphragm and angle polished fiber[j]. optical fiber technology,2016.doi:10.1016/j.yofte.2016.12.004
[14] lih-horng shyu, yung-cheng wang, et al. a signal interpolation method for fabry-perot interferometer utilized in mechanical vibration measurement[j]. measurement,2016.doi:10.1016/j.measurement.2016.05.072
[15] s. pullteap, h. c. seat, an extrinsic fiber fabry-perot interferometer for dynamic displacement measurement[j]. photonic sensors,2015,pp50-59.dio: 10.1007/s13320-014-0209-9