1. 毕业设计（论文）主要内容：

当薄膜厚度降低至纳米量级时，将出现很多新的现象，因此准确测量纳米级薄膜厚度非常重要。

在众多纳米级薄膜的检测方法中，白光干涉法具有对环境不敏感、抗干扰能力强、测量动态范围大、结构简单等优点。

特别是，选用宽谱光源的白光干涉法相较于其他窄带光源干涉法，由于中心零级干涉条纹的存在，只用一个干涉仪即可实现对被测物理量的绝对测量。

2. 毕业设计（论文）主要任务及要求

设计（论文）完成的主要任务：

1、对比纳米薄膜厚度的常用检测方法，分析白光干涉法用于纳米级膜厚和贵金属薄膜测量的问题；掌握白光干涉的原理和信号解调技术；

2、查阅相关文献，根据白光干涉原理，推导不同纳米级薄膜的干涉结果表达式，并分析影响精度的因素；尝试根据已有的理论模型，设计实验测量系统和信号解调方案；

3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排

第8学期：

第1－3周：查阅相关文献资料，明确研究内容，了解纳米级薄膜厚度的测量方法，并掌握白光干涉信号与薄膜厚度的关系，完成开题报告；

第4 - 6周：完成英文文献翻译，进一步完善研究目标，掌握干涉信号的检测与干涉信号的解调方法；

4. 主要参考文献

[1] jo t, kim k r, kim s r, et al. thickness and surface measurement of transparent thin-film layers using white light scanning interferometry combined with reflectometry[j]. journal of the optical society of korea, 2014, 18(3):236-243.

[2] xu c, yi y, shu z, et al. investigation of spectral shifts in a white light interferometer with a single interference peak[j]. optical engineering, 2015, 54(4):044105.

[3] 杨玉孝, 熊开利, 孙艳,等. 光纤白光干涉法与膜厚纳米测量新技术研究[j]. 光子学报, 2003, 32(8):973-976.