课题研究背景 在现代化生产过程和产品质量控制中，每个环节都离不开高标准下的精确程度和稳定性，振动的情况在大型旋转流体机械在核电站、水电机组、火电机组，石油化工等大型装备尤其重要，其运行状态参数可从旋转流体机械的振动情况反应出来；现代化的汽车、卡车及军用武器装甲车都通过安装有各类传感器，实时检测车辆运行状态。

其中车辆的旋转流体机械，或者振动部件的工作状况检测至关重要；现代制造装备中常涉及对偏心、间隙、冲程、倾斜、角度、弯曲度、形变量、圆度、冲击和宽度等参数的测量。

上述大型高速旋转设备、车辆振动部件及制造设备等运行状态的测量，无法采用常规机械式接触测量，必须采取一些非接触的测量方法。

因此运行状态的监测实质是对机械振动振幅的测量。

利用电涡流效应将机械振动位移变化转化为电压或电流变化，进而获得振动位移情况。

利用先进的传感检测技术手段，可以为各种极端条件和高精准度要求的检测、测量提供高精度和高可靠性的保障。

正因为如此，研究传感器技术仍然是行业的重点工作，其应用前景仍然十分广泛。

电涡流传感器是一种利用磁场在金属表面产生”涡流效应”所制的电感式传感器。

它是能将机械位移、振幅等参量转换成电信号输出的装置，其具有结构简单、分辨率高、非接触式测量、无损测量和容易使用等优点，因而得到越来越广的应用。

[5] 其中电涡流式振动位移传感器由传感器线圈、前置器和被测导体组成，利用它们之间耦合程度的变化来进行测量，并具有零频率响应性能。