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微型加速度传感器原理设计及制造任务书

 2020-04-03 13:12:46  

1. 毕业设计(论文)主要内容:

微机电系统中的微型加速度传感器在目前智能终端中广泛应用。

本项目研究根据微型加速度传感器的原理对其进行设计,并利用微机电系统的工艺方法进行工艺分析。

2. 毕业设计(论文)主要任务及要求

1.查阅不少于15篇相关文献,其中英文文献不少于2篇,完成开题报告。

2.理解微型加速度传感器的工作原理

3.根据要求设计出微型加速度传感器结构,并进行微加工工艺路线规划。

4.完成不少于6000字的英文文献翻译,完成设计论文。

3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排

第1周~第3周:寻找关于微型加速度传感器的资料,进行前期资料搜集整理,并进行初步设计。


第4周~第5周:学习并掌握cad软件进行绘图,学习并掌握微机电系统的原理及其计算。


第6周~第12周:设计微型加速度传感器,明确其微加工工艺。

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4. 主要参考文献

1.陈竟成,许高斌,马渊明,陈兴.对称分布的三轴谐振陀螺仪的设计、分析与仿真[J].传感技术学报,2016,第第29卷卷,第9期

2.殷勇,王寿荣,王存超,杨波,盛平,田忠.一种双质量硅微陀螺仪[J].中国惯性技术学报,2008,第16卷,第6期

3.成宇翔,张卫平,陈文元,崔峰,刘武,吴校生.MEMS微陀螺仪研究进展[J].微纳电子技术,2011,第48卷,第5期

4.赵幸娟,王瑞荣,石云波,刘俊,唐军.电容式硅微机械陀螺仪结构设计及仿真[J].功能材料与器件学报,2011,第17卷,第3期

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