1.引言： 随着先进制造和机电一体化技术的不断发展，对当前工作平台的精度、运行速度和自动化程度都提出了更高的要求，速度快、精度高、稳定性好已经成为现代化生产的必然趋势。

其中，三轴工作台作为近几十年来发展十分迅猛、应用十分广泛的一种运动平台，它集机、光、电、控制、软件于一体，具有较强的通用性[1]。

为实现高性能、高效率、低成本的生产，世界上各IC设备厂商加大研发投资，研制新一代的运动平台。

我国在运动平台研制领域的技术至少落后于发达国家10~15年，国内较为先进的IC生产线几乎全依靠进口，生产受制于人。

为掌握精密运动平台的核心技术，提高尖端精密机械的自主研发能力，突破发达国家对我国在精密运动平台方面的技术封锁，对精密运动平台技术进行自主基础研究具有十分重大的现实意义和经济意义[2]。

2.正文： 2.1运动平台发展现状 运动平台按精度的高低以及行程的大小可以分为两类：极高精度、小行程的平台系统和高精度、大行程的平台系统。

前者的驱动装置大多使用电磁或压电元件，行程多在100μm以内，但是位移分辨率极高，达1nm。

后者是指行程超过毫米级别，但定位精度低于前者的运动平台，其大多采用直线电机或摩擦式驱动方式。

运动分辨率大多在10 μm左右[3]。

常见的三坐标工作台有如下几种结构：悬臂式、桥式和龙门式[4][5]。