1. 研究目的与意义（文献综述）

随着科技的发展，网络和电子电路所引导的新的生活和工作方式以一种极速的趋势踏上了世界的舞台。同时对于支持这一系列变化的新兴材料的发展也得到了极大发掘，其中半导体成为了电子科技产品中不可或缺而且应用广泛的一部分。而对于半导体技术的逐渐成熟，电子产品对于电子元件的尺寸和性能都有了更高的要求，于是在提高半导体性能的探索道路上，需要非常重视一个电阻（半导体）的性能指标——电阻率。而对于半导体电阻率测量的精确程度直接地影响了对该半导体性能的各方面信息的了解程度，从而影响到电子产品的电器性能。其中薄层电阻的电阻率和电学特性，因为其与绝大多数电子器件密切相关的缘故，受到了研究人员的高度重视。电子科学技术发展迅速，对于电子计算机的要求和工作能力的进步速度甚至可以以月计，以周计。而计算机的容储量呈现了指数式的增长，电子计算机微型化也在不断地推陈出新。想要在一张小小的硅片上集成大量的复杂电路，薄膜电阻率的均匀性和稳定性是重中之重。因此对于薄膜电阻率进行测试是非常有价值和现实意义的。

因此，对于薄膜电阻率的测试一直以来都是不断地改善和发展的。在比较早的薄膜电阻测试系统里，是用人工操作进行测试的，而且往往因为测量方式的限制，会有很多复杂繁琐的过程出现，实验中的大量数据的输入，产生，不仅对实验所花费的时间和人力是一个比较大的消耗，更为重要的是，人力所进行的复杂操作中，出现误差和错误的概率也大大提升，对实验的精度是一个巨大的考验。所以，面对这个难题，研究人员开发出了一种新的测试方法，来进一步提高实验的精度。这就是虚拟仪器与实际机械装置相结合的测试方法。虚拟仪器的出现可以说是测试领域的福音，让测试的精度提高了一个层次，在虚拟仪器的测试中，传统机械装置的功能由软件界面来显示，由自动化检测装置代替人工操作，用键盘来操作机械装置，结果会直接显示在计算机屏幕上，这样的测试方式，在人工操作，统计和计算方面，极大程度地消除了可能出现的误差，让实验的精度大幅度提升，实现了虚拟软件和现实机械装置的相互结合，也使得测试工作变得高效精确。

labview软件是一款应用广泛的编程软件，是一种用图标代替文本进行测试流程或者应用程序的图形化编程语言。labview产生的程序是框图形式的，也是进行测量和控制的理想开发编程环境。最重要的是，labview可以非常好地与硬件测试技术相交互（可以利用软件的性能对实验结果进行多种形式的输出，还能利用i/o接口完成对测试信号的数据收集，调试），让测试实验达到理想中地效果，因此，基于labview的薄膜电阻率测试是一个非常好的选择，在国内外对这个测试系统的研究也非常广泛而且重视。

2. 研究的基本内容与方案

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基本内容：1.对课题的目的，实验目标和要求进行思考和分析，确定一个基本的思路和方向。

2.了解四探针测试薄膜电阻率系统的原理和实验结构。

3. 研究计划与安排

1-2周 搜集论文资料，准备方案。

3-4周 翻译外文文献并完成开题报告

4-6周 重点看老师推荐的参考资料，进行理解和吸收（重点看测试模型建立的方法与过程），建立起测试硬件模型

4. 参考文献（12篇以上）

[1] qinye,jianli cui,lu yu,kla-tencor corp.china highly-stable four-point-probe metrology in implant and epitaxy processes. asmc 2014

[2] liu baodong, wu pengfei,liu xinfu micro-area sheet resistance measurement system of four-point probe technique based on labview 2016 international symposium on computer,consmuer and control(is3c)

[3] zhihui zhu the testing system of microarea sheet resistance on labcuew with inclined square four point probes 2014 international symposium on computer and control