1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

1课题意义

氧化锌是一种性能优异的直接带隙的氧化物半导体材料，氧化锌薄膜具有很多良好的薄膜性能比如有较高的熔点，激子束缚能高等，而且氧化锌薄膜来源广，价格低，在制备过程中易掺杂无毒无污染是一种环保的材料而且可以大规模运用。zao薄膜具有与ito薄膜可比拟的光学、电学性质,而且在高温条件下,它的成分不易与氢发生互扩散,因此在活性氢和氢等离子体环境中化学稳定性高,不易使太阳能电池材料活性降低,是最有开发潜力的透明导电薄膜,可望成为ito薄膜最佳的替代者,推动廉价透明导电薄膜的发展。

虽然氧化锌拥有很多良好的性能，但是本征缺陷还是对氧化锌薄膜的光学性质和电学性质产生巨大的影响，所以我们可以在氧化锌薄膜中掺入杂质消除氧化锌薄膜的本征缺陷，而铝是施主杂质中最成功的掺杂。掺入杂质铝可以得到具有更好光学电学性能的薄膜。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

本课题所研究的是研究铝掺杂对氧化锌材料薄膜的制备方法，工艺对材料形貌，结构的影响，并考察铝掺杂浓度对吸收光谱的影响。虽然氧化锌拥有很多良好的性能，但是本征缺陷还是对氧化锌薄膜的光学性质和电学性质产生巨大的影响，所以我们可以在氧化锌薄膜中掺入杂质消除氧化锌薄膜的本征缺陷，而铝是施主杂质中最成功的掺杂。掺入杂质铝可以得到具有更好光学电学性能的薄膜。

1水热法制备氧化锌薄膜

水热反应过程是指在一定的温度和压力下，在水、水溶液或蒸汽等流体中所进行有关化学反应的总称。按水热反应的温度进行分类，可以分为亚临界反应和超临界反应，前者反应温度在100～240℃之间，适于工业或实验室操作。后者实验温度已高达1000℃，压强高达0.3gpa，足利用作为反应介质的水在超临界状态下的性质和反应物质在高温高压水热条件下的特殊性质进行合成反应。制备氧化锌溶胶，在玻璃衬底均匀涂抹溶胶进行预处理得到氧化锌籽晶层，然后制备六水硝酸锌和六次甲基四胺水溶液，加入五水硝酸铟和去离子水将溶液转移到高压釜中，反应结束后用去离子水反复冲洗烘干