1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述 一.课题研究背景及意义 低温等离子体表面处理是一种新兴的材料表面处理方法，已经逐渐被人们所熟识，并应用到众多行业中。

相比传统湿式表面处理方法严重污染环境，不生态环保等缺点，低温等离子体表面处理方法属于干式工艺，具有清洁环保，节省能源等优势，尤其适用于某些不便于液体接触的敏感材料的处理。

其次，低温等离子体处理仅涉及材料的极浅表面，改性层的厚度常常只有几个微米或纳米级别，材料主体性能受到的影响极小，因此，低温等离子体在材料表面处理技术中具有独特的应用价值，受到了国内外研究人员的广泛关注。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

需要解决的问题： 由于低温等离子体表面处理在臭氧生成、材料表面改性、杀菌消毒、新型光源、薄膜沉积、电磁波屏蔽、环境保护等应用领域得到了广泛的认可，所以对低温等离子体材料表面处理的研究就显得极其重要。

低温等离子体的产生方式中，dbd具有其独特的优势，又由于目前的低气压dbd的固有缺点，使得大气压dbd的研究更具有重要意义。

然而现有大气压dbd，稳定运行条件苛刻,运行参数复杂,控制不当就会转变为丝状模式；某些反常因素(如空气湿度、温度等) 会影响dbd 的稳定性,造成整个反应系统的滞后和失调;且放入改性材料时,会对反应器产生影响,引起等离子体2固体表面电场变化,进而改变放电参数(如放电电流、功率密度等) ,产生放电不稳定等现象。