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1. 毕业设计（论文）的内容、要求、设计方案、规划等

一、前言微谐振器是微机电系统（mems）的典型器件，广泛应用于高频和高精度的驱动器和传感器。

为了获得高性能、高精度，微谐振器件在设计和制造的时候希望能够有非常小的能量损耗和特别高的质量因数。

然而，事实证明器件尺度的减小必然导致质量因数的减小。

2. 参考文献（不低于12篇）

[1] lifshitz r, roukes m l. thermoelastic damping in micro- and nanomechanical systems [j]. phys rev b, 2000, 61(8): 5600-9.

[2] zhang, w.-m., et al., dynamics of suspended microchannel resonators conveying opposite internal fluid flow: stability, frequency shift and energy dissipation. journal of sound and vibration, 2016. 368: p. 103-120.

[3] tunvir, k., c.q. ru, and a. mioduchowski, thermoelastic dissipation of hollow micromechanical resonators. physica e: low-dimensional systems and nanostructures, 2010. 42(9): p. 2341-2352.