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基于表面等离子共振的纳米级金膜厚度和介电常数测量任务书

 2020-04-09 12:03:19  

1. 毕业设计(论文)主要内容:

在众多纳米级金属薄膜厚度和介电常数测量方法中,spr测量方法具有结构简单、非接触式和灵敏度高等优点,论文主要完成如下工作:

1、了解纳米级金属薄膜厚度和介电常数的常用检测方法,对比spr方法与其他检测方法特别是其他光学测量方法的优劣;掌握spr几种调制方法的原理和结构;

2、查阅相关文献,根据菲涅耳公式,完成对不同厚度纳米级金膜的反射率公式推导,分析其影响因素;选择一种调制方法,尝试根据已有的理论构建实验的模型,设计实验测量系统;

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2. 毕业设计(论文)主要任务及要求

1、查阅不少于15篇的相关文献资料,其中英文文献不少于3篇,完成开题报告。

2、利用SPR方法完成对纳米量级金属膜厚度和介电常数的测量系统设计,搭建实验平台,完成相关测量及误差分析。

3、完成不少于5000字的英文文献翻译。

4、完成至少12000字的毕业论文的撰写工作。

3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排

第1-3周:查阅相关文献资料,明确研究内容,了解纳米级金属薄膜厚度和介电常数的测量方法,并掌握共振信号与薄膜厚度的关系,完成开题报告;

第4-6周:完成英文文献翻译,进一步完善研究目标,掌握共振信号的检测和各种调制方式的优缺点;

第7-10周:设计并搭建实验平台,通过实验完成对纳米级金膜厚度和介电常数的测量,同时完成对测量结果的处理;

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4. 主要参考文献

[1] chen j m, chen w p. use of surface plasma waves for determination of the thickness and optical constants of thin metallic films[j]. journal of the optical society of america, 1981, 71(2):189-191.

[2] yang f, cao z, fang j. use of exchanging media in atr configurations for determination of thickness and optical constants of thin metallic films[j]. applied optics, 1988, 27(1):11.

[3] 李艳敏, 李孟超, 刘芳芳,等. 基于spr的多层金属膜厚在线纳米测量[j]. 光电工程, 2012, 39(5):7-12.

[4] liu c, liu q g, li t t. research of spr phase detection for measuring ultra thin metal film[j]. key engineering materials, 2013, 562-565:896-901.

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