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1. 研究目的与意义及国内外研究现状

在当前的科学研究与社会生活中，功能材料被广泛应用在各个方面，有着非常重要的作用。

特别是在21世纪的今天，由于计算机技术、半导体材料、太阳能电池等产业的发展，导致应用在这些产业上的透明导电氧化物薄膜材料开始产生、发展并逐步走向成熟。

近年来，zno薄膜的高电导率和高可见光区透射率等特点使其在透明导电材料（tco）领域得到广泛应用，掀起了人们对其研究的热情。

2. 研究的基本内容

1.了解氧化锌透明导电薄膜的基本结构和性质，并进一步分析氧化锌薄膜的结构变化和光电特性；

2.掌握包括脉冲激光沉积法，溶胶-凝胶法，磁控溅射法在内的几种典型制备zno薄膜的方法；

3.设计方案利用溶胶-凝胶法制备azo薄膜，分析制备过程中退火因素对薄膜的x射线衍射，光致发光，扫描电子显微镜，拉曼衍射的影响，掌握对实验数据的分析处理方法；

3. 实施方案、进度安排及预期效果

在本实验中，为了获得纯净的zno在配置溶胶时我们采用将醋酸锌溶质溶解在无水乙醇溶剂中，同时向其中添加与醋酸锌等摩尔比的稳定剂乙醇胺至溶液变得澄清，然后在磁力搅拌器中均匀搅拌两小时，之后陈化24小时之后得到均匀透明的zno溶胶。

在氧化锌薄膜的制备中我们采用旋转涂覆工艺进行镀膜，首先将本实验采用的清洁的均匀旋转将溶胶均匀摊开，使其在衬底上分布均匀，再将其蒸发形成凝胶膜。（如图1.6）将凝胶膜进行预热处理，每次旋涂后在300℃预退火10分钟后进行下一次旋涂，经过多次旋涂制得的膜厚度为500nm的zno.

4. 参考文献

[1] 欧阳桂仓,叶志清,吴木生.zno薄膜的物理性质与制备方法研究.江西科学.2008,28(1):161-164

[2]黄昆.固体物理学[m].高等教育出版社,1988

[3]service r f.materials science:will uv lasers beat the blue’s[j].science.1997,276:895-898