1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述 随着电子技术、通信系统的发展，微波电子系统对微型化、高性能微波器件的需求日益迫切[1]。

利用介电可调材料介电常数随外加偏压变化的介电特性可以制备电调滤波器、移相器、微波天线等微波可调器件[2,3]。

外加偏压的变化可以调谐这些微波器件的频率、相位等特性，从而满足器件的相应性能指标。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

主要研究内容 本课题旨在研究热处理对bmn薄膜晶体形貌和介电性能的影响。

先用传统的固相烧结法制备出致密、高纯度的bmn陶瓷靶材，然后采用磁控溅射法，在不同退火条件下制出bmn薄膜，并对其晶体形貌和介电性能进行测试，比较测试结果，得到热处理条件对它的影响。

拟采用的研究手段 1、 采用固相烧结法制得bmn陶瓷靶材； 2、 在不同热处理下，采用磁控溅射法，制备出不同的bmn薄膜样品； 3、 用x射线衍射仪对bmn薄膜的结晶情况及结构进行表征；通过场发射扫描电镜（fesem）得到薄膜的表面情况；制备mim平行电容结构，阻抗仪对薄膜的介电性能进行测试；薄膜样品的漏电性质通过铁电测试系统测得。