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热处理对BMN薄膜晶体形貌和介电性能的影响文献综述

 2020-05-10 02:43:14  

文 献 综 述 随着电子技术、通信系统的发展,微波电子系统对微型化、高性能微波器件的需求日益迫切[1]。

利用介电可调材料介电常数随外加偏压变化的介电特性可以制备电调滤波器、移相器、微波天线等微波可调器件[2,3]。

外加偏压的变化可以调谐这些微波器件的频率、相位等特性,从而满足器件的相应性能指标。

介电可调材料制备成的具有优良性能的微波器件在未来将广泛应用于通信、卫星、雷达等事和民用领域[4,5]。

国内外对于铌酸铋镁材料的研究源于20世纪90年代,当时有学者发现铋基焦绿石结构的Bi2O3-MgO-Nb2O5体系具有较高的介电常数和较低的损耗[6]。

之后学界对该类介电可调材料的研究逐渐深入,并取得了一定的进展。

铌酸铋镁Bi1.5Mg1.0Nb1.5O7(BMN)具有立方焦绿石结构。

立方焦绿石晶体的表达式为 A2B2O6Oˊ[7]。

铌酸铋镁材料除了 Bi1.5Mg1.0N1.5O7形式外,还有一种主要的化学计量比Bi2Mg2/3Nb4/3O7,该种材料具有较高的介电常数(~210),但不具备介电可调性能[8]。

相较于介电常数较低的 Bi2Zn2/3Nb4/3O7(~80)而言,其高介电常数是 Mg2 替代 Zn2 从而增强了材料介电响应导致的。

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