磁控溅射用钛酸铋钠钛酸锶陶瓷靶材的制备与性能研究开题报告
2020-04-18 19:41:59
1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)
1.前言 铁电-反铁电陶瓷材料作为一种功能材料,实现了电能与机械能之间的相互转换。
铁电-反铁电陶瓷应用于电容器、滤波器、传感器、致动器、驱动器、微位移器等,被广泛地应用于机械、电子、通讯、卫星广播、航空航天等高科技领域,在人们的日常中发挥着举足轻重的作用[1 ~ 3]。
由于重金属铅在人体长期积累具有一定的生物危害性,虽然铅基材料 pz、pzt、plzt等具有良好的储能和应变性能,但是含铅铁电,反铁电材料的电容器和致动器等微电子产品在制备、使用和报废处理过程中对于人类和环境带来不可避免的危害。
2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
1.实验内容 (1)采用传统固相烧结法制备bnt-st无铅反铁电陶瓷靶材,系统研究烧结温度对bnt-25st无铅反铁电陶瓷靶材致密度、结构、微观形貌的影响。
(2)在确定温度后,系统研究保温时间对bnt-25st无铅反铁电陶瓷靶材致密度、结构、微观形貌的影响。
2.实验步骤 ①计算称量药品 ②球磨12h ③干燥,研磨,过80目标准筛 ④850℃预烧3h ⑤二次球磨16h ⑥烘干,研磨,过80目标准筛 ⑦8%pva造粒 ⑧压片,600℃排胶1h ⑨烧结 ⑩被银,750℃烧银0.5h,测电性能 3.表征方法 (1) 收缩率的测定 ( % ) 利用游标卡尺测量陶瓷片子在烧结前后的直径,分别标记为d1和d2,然后按照公式 ( 2-1 ) 计算样品的收缩率。