1. 研究目的与意义（文献综述）

微型化电子器件的技术发展提高了对微型储能元件的需求。一些电子器件如可植入生物传感器、可移动环境传感器、纳米机器人、微机械系统、耐磨器件等都需要独立可持续地工作，这对储能元件提出了尺寸和性能上的要求。目前，有两种储能元件能解决这两个问题：1) 微型锂离子电池；2) 微型超级电容器。

微型锂离子电池存在两个缺点：1) 寿命短；2)功率密度较低。而微型超级电容器，与传统的超级电容器不同，尺寸较小，且具有高功率密度。另外，它可以长时间的工作，其循环寿命达上百万圈。但其能量密度较低。

本课题则选择制作电极自支撑的混合杂化型微型超级电容器来解决以上问题。混合杂化型超级电容器综合了电子双层超级电容器和赝电容型超级电容器的储能优点，在保证功率密度的同时，提高了其能量密度。

2. 研究的基本内容与方案

2.1 研究的基本内容

构筑工艺：以铜箔作为基底，制作出阵列之后将基底溶解，释放出自支撑的su-8骨架；

3. 研究计划与安排

第1－3周：查阅相关文献资料，完成英文翻译；明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备；确定技术方案，完成开题报告；

第4－6周：按照设计方案，制备高导电的su-8骨架；

第7－8周：按照设计方案，制备正极和负极材料；

4. 参考文献（12篇以上）

[1] m.beidaghi and y. gogotsi. capacitive energy storage in micro-scale devices:recent advances in design and fabrication of micro-supercapacitors[j]. energy amp; environmental science,2014, 7(3): 867-884.

[2] z.l. wang. toward self-powered sensor networks.pdf[j]. nano today, 2010, 5: 512-514.

[3] c.k. chan, h. peng, g. liu, et al. high-performance lithiumbattery anodes using silicon nanowires[j]. nature nanotechnology, 2007, 3: 31-35.