文 献 综 述 1 引言 随着社会的发展，人类对能源的需求不断地增加，新能源材料和器件引起了全世界科学界的广泛关注。

因此，研究与开发新的和清洁的可再生能源仍然是国际关注的热点。

太阳能具有无污染、可再生以及无穷无尽等优点[1]，正是由于上述优点太阳能产业将成为世界备受关注的新兴产业。

硅基太阳能电池以其廉价[2]、高效[3]、高的理论转化效率（高达30%）[4]、高的吸收系数[5]和较强的空间抗辐射性能等优点，成为最具潜力的第三代太阳电池材料[6]。

根据硅材料的晶体结构可以分为单晶硅、多晶硅及非晶硅太阳能电池。

而单晶硅和多晶硅太阳能电池称为晶体硅太阳能电池[7]。

晶体硅太阳能电池工艺中重要的一步是前表面的织构化，也称为硅片表面化学腐蚀处理。

具有去除硅片表面的机械损伤，清除表面油污和金属杂质的作用。

同时，制作起伏不平的绒面，形成陷光结构，减少表面太阳光反射，增加硅片对太阳光的吸收，从而提高太阳能电池的光电转换效率[8]。

2 传统单晶制绒工介绍 单晶硅片制绒一般所使用的是碱性腐蚀液,大多数都是使用无机碱性溶液来腐蚀。