一、工程表面形貌测量概述 表面形貌（或称表面微观几何形态）,指工件在加工过程中受各种因素影响和作用下，在被加工面上残留下来的各种不同形状和尺寸的微观几何形态。

一种材料表面的微观几何形貌特性在很大程度上影响着它的许多技术性能和使用功能。

表面形貌测量技术的研究由早期的定性测量发展到定量测量，直至发展到与现代科学技术相结合的高精度定量测量。

近年来，随着科学技术的发展进步，对产品表面质量要求的提高和精密超精密加工技术的发展。

同时基于各种原理的非接触表面形貌测量方法不断出现，在测量精度及测量速度上均有了较大的提高。

二、国内外发展现状 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需要众多相关学科的支持。

在现代工业制造技术和科学研究中，测量仪器具有精密化、集成化、智能化的发展趋势。

发展精密测量机是现代工业生产的趋势。

同时，作为下世纪的重点发展目标，各国在微/纳米测量技术领域开展了广泛的应用研究。

科学技术向微小领域发展，由毫米级、微米级继而涉足到纳米级，即微/纳米技术。